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Z-Axis Nanopositioners piezoeléctrico para los usos extremos de la precisión

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¿Las etapas nanopositioning piezoeléctricas de la serie de Aerotech QNP-Z ensamblan Aerotech? s que crece la familia piezoeléctrica de la etapa que incluye el QNP-L linear y las etapas de QNP-XY

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La serie de QNP-Z proporciona la resolución, las linearidades, la capacidad de repetición, y la alta dinámica requerida para los usos más exigentes de la microscopia a la alineación de la óptica. Con la resolución a 0.15 nanómetros, la linearidad a 0.007%, y la capacidad de repetición a 1 nanómetro, precisión del nanómetro-nivel es confiadas.

Con alta dinámica (frecuencia resonante y tiesura) los usuarios pueden alcanzar un rendimiento de procesamiento más alto en procesos exigentes. ¿Una variedad de recorridos (100? ¿m a 600? m), las opciones de la regeneración, y las versiones del vacío agregan a la flexibilidad excepcional de esta serie de la etapa.

Alta calidad en un paquete compacto

Las etapas piezoeléctricas de QNP-Z son dirigidas por las flexiones de la precisión que se optimizan usando análisis de elemento finito. El diseño resultante ofrece la tiesura excepcional y la frecuencia resonante (hasta 1050 hertzios) que permiten alto rendimiento de procesamiento de proceso y ayuna respuesta a circuito cerrado. Estas etapas se han diseñado para proporcionar el funcionamiento geométrico excelente (rectitud y errores angulares) mientras que al mismo tiempo reducen al mínimo el tamaño total del paquete de la etapa.

De alta resolución y colocando exactitud

Toda la regeneración a circuito cerrado opcional de la oferta piezoeléctrica de las etapas de QNP usando un diseño capacitivo único del sensor para la resolución del secundario-nanómetro y las altas linearidades. Los sensores capacitivos miden la salida de colocar el carro directamente, permitiendo exactitud y la capacidad de repetición superiores.

Control de la Ultra-Precisión

¿Cuándo juntado con Aerotech? los reguladores y las impulsiones, etapas piezoeléctricas de las Q-series de s de QNP demuestran el secundario-nanómetro que coloca la estabilidad de la resolución y de la en-posición (inquietud), y alto-colocando anchura de banda. ¿Opciones de software tales como Aerotech? los paquetes de la caja de herramientas de los controles dinámicos de s y del diseñador del movimiento proporcionan un anfitrión de avanzado con todo las herramientas fáciles de utilizar tales como control de aprendizaje, cancelación armónica, y comando que forma, proporcionando errores de seguimiento mejorados y más rápido paso-y-colocan épocas.

Flexibilidad del diseño

¿Aerotech? las etapas piezoeléctricas de s QNP están disponibles con la regeneración del sensor de la capacitancia o sin la regeneración (de anillo abierto). De anillo abierto proporciona una opción rentable para los usos donde se requieren el tamaño compacto, las alto-dinámicas, y el secundario-nanómetro que coloca la resolución, pero la exactitud y la capacidad de repetición de colocación absolutas no se requieren. Los diseños de anillo abierto pueden también ser utilizados donde está controlada la posición piezoeléctrica vía una fuente externa de la regeneración (interferómetro, sistema de la visión, fotodetector, etc.).