Advanced Energy anuncia una plataforma de detección multicanal de alta precisión con un amplio rango de temperaturas

Plataforma Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT) de cinco canales con una precisión líder en el sector para la detección de temperaturas extremadamente bajas y altas

DENVER, Colorado, agosto de 2023 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) -líder mundial en soluciones de conversión, medición y control de potencia de precisión y alta ingeniería- ha ampliado su familia Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT) con una plataforma de convertidores altamente integrada que proporciona una detección de alta precisión desde temperaturas extremadamente bajas a extremadamente altas.

El nuevo Luxtron M-1100, ideal para procesos de deposición y grabado de semiconductores por plasma, funciona desde -200 °C, el inicio de la gama criogénica, hasta temperaturas de 450 °C, con una precisión líder en el sector de +/- 0,1 °C y una estabilidad de +/- 0,05 °C. La integración de cinco canales permite supervisar varias sondas desde un único convertidor, mientras que las salidas de comunicación flexibles simplifican la supervisión digital, las actualizaciones y la integración del sistema.

"Dhaval Dhayatkar, vicepresidente y director general de productos de detección y control críticos de Advanced Energy, afirma: "La monitorización precisa en amplios intervalos de temperatura es fundamental para que los fabricantes de semiconductores cumplan los complejos requisitos de grabado y deposición de los procesos de fabricación de nueva generación. "El Luxtron M-1100 amplía aún más nuestro liderazgo en termometría de fibra óptica de alta precisión basada en fósforo y satisface las demandas de los clientes para minimizar los gastos generales de medición y proporcionar integración en los sistemas de supervisión y control."

Aprovechando las sondas de fibra óptica con tecnología de sensor de fósforo, los sistemas de detección FOT de Luxtron combinan convertidores de alto rendimiento con una fuente de luz avanzada, un algoritmo de software propietario de fotodetectores y circuitos de amplificación de bajo ruido. El Luxtron M-1100 es el primer modelo que ofrece interfaces de comunicación analógicas y EtherCAT.

El nuevo convertidor simplifica la implementación al permitir el montaje en pared en el lado del sistema que se está supervisando. La experiencia del usuario mejora aún más con el apoyo de los equipos de ingeniería global de Advanced Energy, que colaboran con los fabricantes de equipos originales para desarrollar sondas personalizadas para aplicaciones de vanguardia.