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La estación de trabajo de XCEL para muere inspección y clasificación

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El uso está para los sensores de la presión en el semiconductor

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La máquina realiza una inspección óptica exacta (AOI) de una oblea de silicio, después la eyección y la clasificación de bueno/de malo mueren. La máquina se equipa de 3 altas cámaras de la ampliación (con resoluciones de algunos micrones), 2 de ellos funciona la inspección del lado superior de los microcircuitos en diversas ampliaciones y tercera comprueba la calidad del pedestal lateral inferior, una vez que el dado se expulsa y se mueve en la cámara inferior. El software de la gerencia de la herramienta está conectado con la red corporativa, de la cual recibe en tiempo real las recetas y los parámetros de la inspección que se funcionarán. El resultado es un trazado de cada oblea y de un almacenaje de los números del defecto y de los tipos que permita procesar un análisis estadístico de la calidad del proceso de producción.