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Solución integrada para Deposición mediante Vapor
Los vaporizadores de la gama VDM están idealmente indicados para procesos de deposición mediante vapor y recubrimiento en la producción de chips semiconductores, displays y células solares. Los módulos también pueden emplearse en la calibración de dispositivos analíticos como cromatógrafos de gases y espectrómetros de masas, para la dosificación de anestesia y para la humidificación de pilas de combustible.