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Contador láser cúbico de partículas para controlar la limpieza del aire en salas blancas de semiconductores

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¿Cómo defender la contaminación por partículas en la sala limpia de semiconductores?

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Según una reciente previsión mundial de fábricas publicada por Semiconductor Equipment Manufacturers International (SEMI), más del 50% de las pérdidas de rendimiento de los semiconductores pueden atribuirse a la microcontaminación. Para minimizar las pérdidas de rendimiento, es esencial que las plantas de fabricación de semiconductores adopten rigurosas estrategias de control de la contaminación en las salas blancas.

La materia particulada es una de las principales fuentes de microcontaminación en los procesos de fabricación de semiconductores, que debe controlarse continuamente y eliminarse con prontitud.

Para ayudar a las plantas de fabricación de semiconductores (semiconductor fabs) a supervisar continuamente las partículas en las salas limpias, Cubic ha proporcionado una solución, el contador óptico de partículas en línea OPC-6510DS, que podría aplicarse para la supervisión de la limpieza del aire de las salas limpias en las plantas de fabricación de semiconductores (semiconductor fabs).

El contador óptico de partículas OPC-6510DS de Cubic se ha desarrollado sobre la base de la tecnología de dispersión láser y puede detectar con precisión partículas de diversos tamaños en una unidad de volumen de aire. Con un módulo de contador de partículas láser único incorporado, un ventilador de RPM constantes y un sensor de flujo ultrasónico bien diseñado, OPC-6510DS proporciona un caudal alto y estable de 28,3 L/min de caudal de muestreo de gas, lo que le permite cumplir los requisitos de la norma ISO 14644-1. OPC-6510DS cúbico puede emitir simultáneamente el número de partículas de 5 canales de >0,3μm, >0,5μm, >1,0μm, >5,0μm, >10μm en pcs/28,3L o pcs/m³y admite un funcionamiento 24/7 para garantizar una monitorización de partículas estable y continua.

Además del rendimiento y las características principales, se ha desarrollado una pantalla táctil para OPC-6510DS para mostrar los datos de monitorización continua y los niveles de la sala blanca en tiempo real. La función de alarma sonora y visual también se ha diseñado como una advertencia oportuna in situ.

Además, el OPC-6510DS de Cubic puede lograr la transmisión en línea de datos de monitorización basados en comunicación RS485 ModBus y MOTT, que pueden integrarse en el sistema de filtración para mantener la contaminación por partículas en el entorno de la sala limpia dentro de un determinado rango de baja concentración.