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NUEVO: regulador de la presión de gas por HORIBA STEC

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Serie del sistema de enfriamiento del lado trasero de la oblea GR-300

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Descripción

La serie GR-300 puede controlar el gas usado para refrescar el lado trasero de las obleas que son fijadas en la posición por un sistema electrostático de la tirada. Conveniente para los sistemas de enfriamiento usando el helio, y el control de gas del gas de la cubierta de la oblea usando el argón.

Con la adición de la opción del sensor de flujo total es posible supervisar el flujo del gas.