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Etapa compacta XY+Rotatoria

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Etapas XY compactas de precisión

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Etapas giratorias XY con motores lineales y motores de par directo diseñadas con un perfil bajo para la manipulación de obleas y muchas otras aplicaciones de posicionamiento preciso automatizado en industrias de fabricación de semiconductores. El motor lineal de accionamiento XY proporciona un posicionamiento XY por debajo de la micra y la platina giratoria de accionamiento directo garantiza un rendimiento por debajo del segundo de arco.