{{{sourceTextContent.title}}}

Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment presenta arquitecturas de sistemas de gas integrados de última generación

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lanza arquitecturas de sistemas de gas integrados de última generación

{{{sourceTextContent.description}}}

SHANGHÁI, CHINA – Las instalaciones avanzadas de fabricación de microelectrónica y las fábricas de obleas semiconductoras de última generación requieren una precisión, seguridad y eficiencia sin precedentes en la distribución de gases de proceso. Para hacer frente a estas estrictas variables de la fabricación moderna, Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ha anunciado el lanzamiento comercial oficial de sus paneles de sistemas de gas integrados de última generación. Fabricados en las instalaciones especializadas de sala limpia de la empresa, situadas en el distrito de Songjiang de Shanghái, este lanzamiento industrial se centra en bloques de suministro de gases automatizados y de montaje en superficie, diseñados para optimizar la distribución del espacio dentro de las subfábricas, minimizar los niveles de contaminantes traza y elevar drásticamente los estándares de seguridad en la distribución de productos químicos dentro de las zonas de procesamiento de obleas.

Colectores de conmutación semiautomáticos de acero inoxidable de alta pureza
Colectores de conmutación semiautomáticos de acero inoxidable de alta pureza
A medida que las arquitecturas de fabricación de semiconductores de nodo avanzado se reducen a niveles subnanométricos, los bucles de proceso se vuelven cada vez más sensibles a las impurezas microscópicas, las fluctuaciones de presión y los retrasos en el tránsito de fluidos. Los paneles de distribución de gas tradicionales, con gran cantidad de componentes y que dependen de extensas líneas coaxiales, soldaduras manuales y grandes controladores de caudal másico individuales, están alcanzando rápidamente sus límites mecánicos. La transición a un sistema de gas integrado de alta ingeniería representa un cambio evolutivo fundamental para las fábricas de obleas, las instalaciones de investigación y las plantas solares fotovoltaicas que buscan maximizar el tiempo de actividad de los equipos y, al mismo tiempo, reducir el espacio ocupado en las salas blancas.

La arquitectura estructural del avanzado sistema integrado de gases de Shanghai Chengwei utiliza una configuración modular especializada de montaje en superficie. En lugar de conectar válvulas, reguladores y filtros mediante líneas de distribución individuales, los componentes se montan directamente sobre bloques base metálicos de alta pureza con canales internos para el fluido. Este diseño especializado elimina las zonas muertas internas o los tramos muertos en los que pueden quedar atrapadas trazas de gases especiales o humedad ambiental. Al eliminar estas bolsas de fluido, la infraestructura garantiza una purga rápida del gas, acelera los tiempos de respuesta durante las fases de cambio de gas y reduce significativamente el volumen interno total del circuito de distribución.

Fabricadas en la sala limpia Clase 100 de 500 metros cuadrados de la empresa para eliminar los contaminantes ambientales, las estructuras base utilizan acero inoxidable 316L VIM/VAR electropulido de primera calidad. Las vías internas de flujo se someten a estrictos tratamientos de pasivación química para conseguir un acabado interno ultrasuave, lo que evita la desprendimiento de micropartículas y combate la corrosión provocada por gases especiales agresivos y volátiles, como el cloruro de hidrógeno, el cloro y el amoníaco. Cada conjunto de bloques incorpora sellos de diafragma metal-metal de alta durabilidad, lo que reduce la tasa límite de fuga de helio hasta los umbrales de vacío de pureza ultraalta.

La seguridad operativa y la regulación del caudal se gestionan mediante marcos de control digital integrados. Cada bloque modular se conecta directamente con controladores avanzados de caudal másico, transductores de presión y válvulas de aislamiento neumáticas automatizadas. Estos circuitos digitalizados se comunican a través de protocolos de red industrial de alta velocidad, lo que permite al controlador lógico programable principal de la fábrica supervisar la temperatura del gas, la presión del fluido y los caudales en tiempo real. Para procesos químicos con sustancias reactivas, inflamables o pirofóricas, el sistema de gas integrado cuenta con válvulas de cierre de emergencia automatizadas y sensores de detección continua de fugas que se conectan directamente a los sistemas locales de tratamiento de gases residuales mediante depuradores húmedos situados en la subfábrica.

Al consolidar complejos conjuntos de válvulas múltiples en una rejilla compacta y estandarizada, el sistema de gas integrado logra una reducción de hasta el sesenta por ciento en los requisitos de espacio físico en comparación con los paneles de gas convencionales. Esta enorme reducción del espacio ocupado permite a los ingenieros de herramientas montar toda la infraestructura de gas más cerca del punto de uso, minimizando las caídas de presión en la línea de distribución y garantizando la consistencia de la línea de suministro de fluidos. Además, la disposición modular simplifica el mantenimiento in situ, lo que permite a los técnicos de la planta desatornillar y sustituir rápidamente módulos individuales de montaje en superficie sin desmontar las líneas de proceso adyacentes ni provocar un tiempo de inactividad prolongado de las instalaciones.

La implementación de estos avanzados sistemas de gas integrados permite a los fabricantes de semiconductores y a los ingenieros de procesos alcanzar la máxima pureza de los fluidos, reducir los residuos químicos en bruto y estabilizar las variables del proceso. Este desarrollo tecnológico estratégico cumple con las estrictas directrices internacionales de cumplimiento medioambiental, minimiza el coste total de propiedad y proporciona una base excepcionalmente segura para el escalado de nodos avanzados, la deposición de películas finas y los complejos procesos de grabado por plasma en todo el mundo.

Sistemas y componentes de control de fluidos para semiconductores
Sistemas y componentes de control de fluidos para semiconductores
Acerca de Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) es una empresa especializada en ingeniería y fabricación centrada en infraestructuras de suministro de gases, productos químicos y suspensiones de pureza ultraalta para las industrias de semiconductores y de fabricación avanzada. Con sede en el distrito de Songjiang de Shanghái, la empresa cuenta con unas instalaciones de 4.000 metros cuadrados que incluyen una zona de producción ultralimpia de 2.500 metros cuadrados y una sala limpia de clase 100 de 500 metros cuadrados. CWSC suministra sistemas de alta precisión que facilitan el tratamiento de sustratos, gestionan las huellas de contaminantes y regulan la distribución de productos químicos en las plantas de fabricación de obleas de todo el mundo.

Contacto:
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
N.º 9, callejuela 345, Minshen Road, distrito de Songjiang, Shanghái, China
Teléfono: +86-13380377051
Web: https://www.chengweisemi.com/