Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lanza arquitecturas de sistemas de gas integrados de próxima generación

Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lanza arquitecturas de sistemas de gas integrados de próxima generación

SHANGHÁI, CHINA – Las instalaciones de fabricación de microelectrónica avanzada y las fábricas de obleas de semiconductores de última generación requieren una precisión, seguridad y eficiencia sin precedentes en la distribución de gases de proceso. Para abordar estas exigentes variables de la fabricación moderna, Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ha anunciado el lanzamiento comercial oficial de sus paneles de sistema de gas integrados de última generación . Fabricados en las instalaciones especializadas de sala limpia de la compañía en el distrito de Songjiang de Shanghái, este despliegue industrial se centra en bloques de suministro de gas automatizados de montaje superficial, diseñados para optimizar la distribución del espacio en las subfábricas, minimizar los perfiles de contaminantes traza y elevar drásticamente los estándares de seguridad en la distribución de productos químicos dentro de las zonas de procesamiento de obleas.


Colectores de cambio semiautomáticos de acero inoxidable de alta pureza
A medida que las arquitecturas de fabricación de semiconductores de nodo avanzado se reducen a niveles subnanométricos, los ciclos de proceso se vuelven cada vez más sensibles a las impurezas microscópicas, las fluctuaciones de presión y los retrasos en el tránsito de fluidos. Los paneles de distribución de gas tradicionales, que requieren muchos componentes, extensas líneas coaxiales, soldaduras manuales y grandes controladores de flujo másico individuales, están alcanzando rápidamente sus límites mecánicos. La transición a un sistema de gas integrado de alta ingeniería representa un cambio evolutivo crucial para las fábricas de obleas, los centros de investigación y las plantas solares fotovoltaicas que buscan maximizar el tiempo de actividad de los equipos y, al mismo tiempo, reducir el espacio necesario en las salas blancas.

La arquitectura estructural del avanzado sistema de gas integrado de Shanghai Chengwei utiliza una configuración modular especializada de montaje en superficie. En lugar de conectar válvulas, reguladores y filtros mediante tuberías individuales, los componentes se montan directamente sobre bloques base de metal de alta pureza con canales internos para el fluido. Este diseño especializado elimina las zonas muertas internas donde pueden quedar atrapados gases especiales o humedad ambiental. Al eliminar estas bolsas de fluido, la infraestructura garantiza una purga rápida del gas, acelera los tiempos de respuesta durante las fases de conmutación de gas y reduce significativamente el volumen interno total del circuito de suministro.

Fabricadas en la sala limpia de clase 100 de 500 metros cuadrados de la empresa para eliminar los contaminantes ambientales, las estructuras base utilizan acero inoxidable 316L VIM/VAR electropulido de primera calidad. Los conductos internos de fluidos se someten a rigurosos tratamientos de pasivación química para lograr un acabado interno ultrasuave, evitando el desprendimiento de micropartículas y combatiendo la corrosión causada por gases especiales agresivos y volátiles como el cloruro de hidrógeno, el cloro y el amoníaco. Cada conjunto de bloques incorpora sellos de diafragma metal-metal de alta durabilidad, lo que reduce la tasa de fuga de helio hasta umbrales de vacío de ultra alta pureza.

La seguridad operativa y la regulación del flujo se gestionan mediante marcos de control digital integrados. Cada bloque modular se conecta directamente con controladores de flujo másico avanzados, transductores de presión y válvulas de aislamiento neumáticas automatizadas. Estos circuitos digitalizados se comunican mediante protocolos de red industrial de alta velocidad, lo que permite al controlador lógico programable principal de la fábrica monitorizar la temperatura del gas, la presión del fluido y los caudales en tiempo real. Para procesos químicos reactivos, inflamables o pirofóricos, el sistema de gas integrado cuenta con válvulas de cierre de emergencia automatizadas y sensores de detección continua de fugas que se conectan directamente a los sistemas locales de tratamiento de gases de cola de los depuradores húmedos de la subfábrica.

Al consolidar conjuntos multiválvulas complejos en una red compacta y estandarizada, el sistema de gas integrado logra una reducción de hasta el sesenta por ciento en el espacio físico requerido en comparación con los paneles de gas convencionales. Esta considerable reducción del espacio necesario permite a los ingenieros de herramientas instalar toda la infraestructura de gas más cerca del punto de uso, minimizando las caídas de presión en la línea de distribución y garantizando la consistencia del flujo de fluido. Además, el diseño modular simplifica el mantenimiento en campo, permitiendo a los técnicos de planta desmontar y reemplazar rápidamente módulos individuales de montaje superficial sin necesidad de desmantelar las líneas de proceso adyacentes ni provocar largos periodos de inactividad de la planta.

La implementación de estos avanzados sistemas de gas integrados permite a los fabricantes de semiconductores y a los ingenieros de procesos lograr la máxima pureza de los fluidos, reducir los residuos químicos y estabilizar las variables del proceso. Este desarrollo tecnológico estratégico cumple con las estrictas directrices internacionales de cumplimiento ambiental, minimiza el coste total de propiedad y proporciona una base excepcionalmente segura para la miniaturización de nodos, la deposición de películas delgadas y los complejos procesos de grabado por plasma en todo el mundo.


Sistemas y componentes de control de fluidos semiconductores
Acerca de Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) es una empresa especializada en ingeniería y fabricación de infraestructura para el suministro de gases, productos químicos y lodos de ultra alta pureza para las industrias de semiconductores y manufactura avanzada. Con sede en el distrito de Songjiang de Shanghái, la empresa opera una planta de 4,000 metros cuadrados que incluye un área de producción ultralimpia de 2,500 metros cuadrados y una sala limpia Clase 100 de 500 metros cuadrados. CWSC suministra sistemas de alta precisión para el tratamiento de sustratos, la gestión de la contaminación y la regulación de la distribución de productos químicos en plantas de fabricación de obleas a nivel mundial.

 

Contacto:
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductors Equipment Co., Ltd.
No. 9, carril 345, Minshen Road, distrito de Songjiang, Shanghai, China
Teléfono: + 86-13380377051
Pagina Web: https://www.chengweisemi.com/