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Etapa DSP 50 de Micropositioning con 1 capacidad de repetición del nanómetro
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Esta etapa micropositioning brandnew DSP 50 alcanza una exactitud de colocación de 1 nanómetro en la operación del lazo cerrado sobre un radio de acción del recorrido de 10 milímetros
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Es conducida por 8 impulsiones de inercia del piezo que sean desplazamiento de fase controlado. Esto le ofrece una uniformidad muy alta de la velocidad incluso a velocidades muy bajas y las fuerzas impulsoras muy altas (hasta 15 N) en la operación del lazo cerrado y abierto. Las dimensiones externas del DSP 50 son 50 x 50 x 16 milímetros.