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Turbobomba HiPace 2800 ÉL

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Con el HiPace 2800 vacío de Pfeiffer presenta una turbobomba dedicada especialmente

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para los usos de la implantación de ion. El diseño sofisticado del rotor de la turbobomba

resultados en una velocidad de bombeo optimizada para los gases ligeros. Esto asegura muy bueno

la adaptación de proceso para los procesos de la implantación de ion, era hidrógeno es la mayoría

acumulación del gas. Con la velocidad de bombeo de 2.750 l/s para el hidrógeno el nuevo HiPace

2800 es la mejor turbobomba de su clase.

El sistema de gestión inteligente de la temperatura previene la condensación y la deposición de proceso dentro del sistema de bombeo. Permite el fijar de la temperatura individualmente para apoyar idealmente el proceso. La capa especial del rotor asegura robustez contra todos los materiales del proceso de la implantación de ion. Siendo basado en un cojinete híbrido supuesto, una combinación de rodamientos de bolas de cerámica en el lado del delantera-vacío y los cojinetes radiales permanentemente magnéticos en el lado del alto vacío, estas turbobombas de HiPace tienen un diseño particularmente robusto del cojinete. Junto con la capa eficiente, esto forma la base para el up-time del ciclo y del máximo de la larga vida de las bombas.