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Informe del uso - lasers Ultra-cortos del pulso
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los lasers pulsados Ultra-cortos se utilizan no más principalmente en los laboratorios de investigadores básicos. Son una parte importante en la industria para el corte, acabamiento de la superficie y reconocimiento de patrón y también en ciencia médica. En ciencia médica entre otras están en el lugar para la detección de las células de cáncer.
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Los microscopios especializados combinaron con el alcance ultra-corto del laser del pulso una resolución más alta. Por lo tanto es posible diferenciar las células sanas de las células de cáncer.
En una disposición experimental para la generación de los lasers pulsados ultra-cortos de la alta energía litográfico produjo rejillas necesitan ser ajustados dentro de algunos nanómetros cada uno a otro. Estas rejillas descomponen y montan el laser espectral. El grado de libertad de ajuste necesita ser más pequeño de el µrad 70 nanómetro o 80. Donde la masa ajustable puede pesar hasta 20 kilogramos (44 libras), un control de 5 ejes (3 hachas rotatorias y 2 de translación) es necesario ajustar el laser bajo estas condiciones. Debido a el control es posible supervisar la posición de cada grado de libertad. La posición alcanzada tiene que ser establo a largo plazo con incertidumbres de algunos nanómetros. Si no una disposición modular se requiere.
En una disposición experimental con un sistema hexapod estas especificaciones no podían ser alcanzadas. Los sistemas Hexapod permiten un ajuste multidimensional fácil pero la estabilidad a largo plazo en escala del nanómetro es muy difícil. En consecuencia el cliente decidía contra la solución hexapod.
Alcanzar la estabilidad a largo plazo requerida la nueva solución del piezosystem Jena es muy compacta. En un primer paso de trabajo todas las 5 hachas se pueden colocar dentro de la sola figura micrones. De acuerdo con la exactitud de los primeros actuadores de colocación del piezo con una alta tiesura y una estabilidad pero un movimiento pequeño puede ser utilizado para templar fino. La solución está bien adaptada construir en una manera modular.
Ventajas básicas del dispositivo de ajuste
diseño muy estable con el substrato temperatura-ajustado a la rejilla
la colocación áspera hasta el µm-nivel más bajo, la colocación áspera está calibrada ya
colocación fina con los actuadores cargados del piezo
las fuerzas extensibles y de la presión puntuales proporcionan que ningunas tensiones influencian la rejilla
los actuadores del piezo se funcionan aproximadamente con el 25% del movimiento máximo
tiempo duradero de la vida
suficiente reserva del control disponible
uso de las impulsiones del campo común y del regulador relacionado
satisface los requisitos para un scalability rentable.
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