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Nueva fuente de GSD de Plansee: Reajuste versátil con las ventajas versátiles

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El GSD es un sistema popular del implanter de Axcelis. Plansee almacena las fuentes apropiadas del implanter para todas las generaciones de sistemas de GSD. La regeneración de muchos usuarios durante los últimos años ha demostrado que la fuente estándar tiene un montón de sitio para la mejora. Así, Plansee ha mejorado la fuente aumentando su curso de la vida y eficacia. Este reajuste permite que sea utilizado en cualquier sistema existente sin ningunas complicaciones.

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Los ciclos del halógeno hacen componentes del tungsteno en la fuente de ion erosionar rápidamente y resultados en depósitos pesados del tungsteno en áreas más frescas de la fuente. Estos resultados en poner en cortocircuito y pueden hacer la fuente fallar. Los diferenciales des alta temperatura son un conductor importante del ciclo del halógeno.

Así, un objetivo importante del reajuste era alcanzar una distribución homogénea de la temperatura. En la fuente nuevamente diseñada, Plansee emplea las aleaciones del metal en los lugares específicos para mantener la distribución estable de la temperatura. Por ejemplo, el ciclo del halógeno se reduce perceptiblemente cuando el tungsteno es substituido por el tungsteno-lantano (WL) en áreas más frescas de la fuente. Además de las características termales del material, el WL tiene otra ventaja, a saber su resistencia a la erosión del plasma.

Paralelamente al ciclo del halógeno, la deposición material alrededor del compartimiento representa un desafío importante. Esto ocurre cuando las partículas de componentes se escapan del compartimiento y se depositan sobre componentes del aislamiento. Plansee cambió el diseño del cátodo para reducir la deposición material en las localizaciones críticas en el compartimiento de la fuente de ion. El diseño no sólo reduce la deposición material, pero también provee de gas pérdida del compartimiento, que da lugar a las reducciones de costes para los operadores de sistema.

Incluso el reflector fue sujetado a volver a trabajar. Plansee transformó los muchos componentes en una construcción de cuatro partes simple, que es fácil de instalar y de substituir. Por otra parte, el nuevo diseño es no sólo más fácil de dirigir, pero también hace las trayectorias del gas más largas, un factor adicional que contribuye a la reducción adicional de la pérdida del gas.

Además, el sistema autoajustable establece automáticamente un boquete óptimo entre el cátodo y la bobina, que ejemplifica más lejos cuánto más fácil es instalar el sistema.

La nueva fuente de GSD de Plansee es extremadamente adaptable. Plansee ofrece diversos gruesos del cátodo y del reflector, y la fuente está disponible en las versiones del vaporizador y del no-vaporizador para la operación de gran intensidad y de poca intensidad. Puede ser utilizada en sistemas existentes y cabe el montaje estándar en el GSD.