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Análisis modal experimental de MEMS tapados

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Pruebas modales de MEMS encapsulados en silicio y microestructuras como un servicio

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Para un análisis completo y representativo de los MEMS tapados, contáctenos. Nuestros PolyXperts esperan recibir su muestra de MEMS con tapa para pruebas modales, estudios de viabilidad y consultoría en todas las fases, desde el desarrollo, pasando por el prototipo, hasta la fabricación de sus microestructuras encapsuladas.

Una caracterización completa del dispositivo MEMS en su estado final y encapsulado es crucial para una completa comprensión y control de calidad. Como el silicio es transparente en los espectros del infrarrojo cercano por encima de las longitudes de onda de 1050 nm, la medición de la vibración basada en el interferómetro de infrarrojos abre la posibilidad de inspeccionar los MEMS encapsulados para obtener resultados de análisis auténticos y más representativos. La nueva y patentada tecnología de interferómetro de última generación de Polytec ofrece ahora una calidad de datos suprema gracias a la separación superior de las capas individuales de los dispositivos MEMS encapsulados

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