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¿Cómo medir los MEMS encapsulados en su estado final?
Nueva solución de medición óptica por infrarrojos para el análisis de la respuesta dinámica de las microestructuras tapadas
Una caracterización exhaustiva de la dinámica y las propiedades de respuesta mecánica de los dispositivos de microestructura es crucial para el diseño y el desarrollo, la resolución de problemas y la validación FEM de los sistemas microelectromecánicos (MEMS). Por ello, la serie de analizadores de microsistemas MSA de Polytec ofrece capacidades de prueba ópticas rápidas, precisas y sin contacto de MEMS como sensores interciales, micrófonos MEMS, sensores de presión y otros. El MSA es un vibrómetro láser Doppler dedicado, con un microscopio de vídeo estroboscópico integrado, que permite medir los movimientos en el plano y fuera del plano de los MEMS. Ahora, el nuevo MSA-650 IRIS Micro System Analyzer permite incluso medir a través de tapas de silicio intactas en microestructuras encapsuladas en estado final.
Dado que el silicio es transparente en el espectro del infrarrojo cercano por encima de las longitudes de onda de 1050 nm, la tecnología subyacente de medición de vibraciones basada en interferómetros de infrarrojos abre la posibilidad de inspeccionar MEMS encapsulados para obtener resultados de análisis auténticos y más representativos. La nueva tecnología de interferómetro patentada por Polytec ofrece ahora una calidad de datos suprema gracias a la separación superior de las capas individuales de los dispositivos MEMS encapsulados en Si. Con una cámara SWIR dedicada y una fuente SLD de baja coherencia, el MSA-650 IRIS es el primer sistema de medición del mundo con esta tecnología para visualizar los dispositivos encapsulados de Si. Mide las vibraciones en el plano con una resolución de hasta 30 nm y las vibraciones fuera del plano en tiempo real hasta un rango de frecuencias de 25 MHz y con una resolución de picómetros e inferior.
Inspecciona muestras enteras mediante barrido óptico a través de tapas de silicio intactas en condiciones de funcionamiento. La tecnología de medición MSA IRIS proporciona una calidad de datos superior gracias a la clara separación de las capas individuales de los dispositivos MEMS. Tanto si se trata de pruebas automatizadas en línea a nivel de oblea como en el laboratorio, póngase en contacto con Polytec para obtener una descripción detallada de sus requisitos de medición.
