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El problema de Stiction del MEMS-sensor solucionó en el Cmos

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Nanusens demanda su tecnología del nano-sensor del Cmos soluciona con éxito el problema en sensores de inercia electromecánicos micro de los sistemas (MEMS), según se informa una fuente importante del stiction del fracaso para este tipo de sensor.

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El problema del stiction es causado por las fuerzas atractivas que ocurren en niveles microscópicos tales como Van der Waals y Casimiro. Éstos son dependiente dependiente y no total del superficie-área.

En un diseño del sensor de inercia, hay un total de la prueba conectado con una primavera. Esta masa se mueve cuando hay aceleración y el movimiento es detectado por la actuación total como un electrodo y el cambio en capacitancia se mide en relación con un segundo electrodo fijo. Sin embargo, si hay un movimiento grande por ejemplo de un choque o una colisión, la masa va más allá de la gama normal de viajar y toca una superficie que incluye el sensor adonde él los ‘palillos’ debido a las fuerzas atractivas y al trabajo de las paradas. Esto se puede contradecir teniendo primaveras más fuertes pero éste reduce la sensibilidad del sensor. Una solución para aumentar la sensibilidad podía ser aumentar la masa pero este los resultados en una mayor superficie para el total y por eso, desafortunadamente, fuerzas más atractivas.

El acercamiento usado por Nanusens es reducir el diseño del sensor por un orden de magnitud de los sistemas electromecánicos micro (MEMS) con tamaños de característica lineares de 1-2um a los sistemas electromecánicos nanos (NEMS) donde están 0.3um las características. Esto reduce las fuerzas atractivas perceptiblemente como la reducción de la superficie está en dos dimensiones, es decir reducción de casi dos órdenes de magnitud. La reducción de la masa de la prueba podía dar lugar a sensibilidad disminuida excepto esto es compensada reduciendo el hueco entre ella y el electrodo fijo. De tamaño de la reducción los medios también que la energía almacenada en la masa cuando golpea la superficie en caso de un choque, él de la prueba está mucho menos y el hueco que viaja es también pequeños. Un choque con menos energía es también más fácil de separar.

Los nano-sensores únicos se hacen usando procesos del Cmos y técnicas estándar de la máscara. El dieléctrico inter del metal (IMD) se graba al agua fuerte lejos con las aberturas del cojín en la capa de la estabilización usando HF del vapor (vhf) para crear las estructuras del nano-sensor. Los agujeros entonces se sellan y el microprocesador se empaqueta cuanto sea necesario. Mientras que solamente se utilizan los procesos estándar del Cmos, y los sensores se pueden integrar directamente con el conjunto de circuitos activo como sea necesario, los sensores pueden potencialmente tener altas producciones similares a los dispositivos del Cmos.