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Tecnología híbrida del explorador del polígono de la Alto-Productividad para el laser de USP
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Como líder de la tecnología para desviar y colocar rayos laser, SCANLAB AG introdujeron una solución híbrida integrada del sistema de la exploración del laser del polígono a las amplias audiencias en LASYS 2014 en Stuttgart. Este sistema de la exploración del laser del polígono de las alto-dinámicas está especialmente bien adaptado para el proceso línea por línea de las obleas de silicio de las superficies e.g. vía los lasers de la alto-repetición USP (ultra-corto-pulso). El sistema híbrido también demostró tiempos de transformación materiales rigurosos de un corte adentro.
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Los lasers de USP son ideales para el microtratamiento de alta precisión de componentes. La ablación fría permite excepcionalmente la multa y el retiro material apuntado. Pero para alcanzar productividad industria-conveniente, el laser de USP debe equipo para arriba con un explorador ultra-rápido capaz de colocar los pulsos individuales del laser sobre un objeto sin traslapos del pulso, incluso en los pulsos más altos. En principio, la velocidad de los exploradores del polígono los hace bien adaptados para separar tales pulsos de alta frecuencia. Pero los exploradores del polígono puros tienen limitaciones en exactitud y flexibilidad y han sido difíciles de integrar en sistemas de proceso de USP hasta ahora.
SCANLAB eliminó estas desventajas desarrollando un sistema híbrido del explorador del polígono que combinaba la superioridad dinámica de los exploradores del polígono con la alta precisión de galvanómetros. ?Nuestros muchos años de la maestría del galvo condujeron a la idea de combinar los sistemas. Dos hachas de la exploración del galvanómetro ahora corrigen desviaciones típicas y las imperfecciones en polígono ruedan simetría para alcanzar la flexibilidad necesaria para el proceso pixel-exacto,? explican a CEO Georg Hofner de SCANLAB. ?Una distancia de trabajo grande, la integración straight-forward del eje mecánico de la alimentación y los tiempos de proceso increíblemente cortos predestine este sistema para los usos industriales.?
Esta nueva tecnología también se satisface para los dispositivos móviles, la industria de electrónica y el proceso de compuestos. Por lo tanto, el desarrollo del sistema fue apoyado por el ministerio de Germanys Federal de la economía y de la energía. Los sistemas de pruebas están disponibles ahora de SCANLAB.