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Medición del vacío en cámaras de equilibrio

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Un sensor para todo el ciclo

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Las cámaras de carga en la fabricación de semiconductores suelen requerir múltiples sensores de presión, lo que conlleva un esfuerzo de integración, riesgo de contaminación y una complejidad innecesaria. El transductor de vacío VSL los sustituye por un único dispositivo, que cubre todo el rango de medición, desde 1200 hasta 10⁻⁴ mbar.

Menos componentes. Menos riesgo. Mayor fiabilidad del proceso.
En la fabricación de semiconductores, cada partícula cuenta, al igual que cada segundo del proceso. Las cámaras de carga son un cuello de botella crítico: permiten la transferencia controlada entre entornos atmosféricos y de vacío, al tiempo que protegen las cámaras de proceso de la contaminación y mantienen la eficiencia de los tiempos de ciclo.

La realidad en muchos sistemas:
Múltiples sensores para diferentes rangos de presión, un gran esfuerzo de integración y una coordinación compleja del proceso.
Hay una forma más sencilla.

El transductor de vacío VSL reduce esta complejidad a un único dispositivo.
Al combinar dos sensores de diafragma piezorresistivos con un sensor Pirani, el VSL cubre un rango de medición de 1200 … 10⁻⁴ mbar (absoluto) y -1060 … +340 mbar (relativo a la atmósfera).
Durante las fases de bombeo y purga, los sensores piezoeléctricos proporcionan mediciones rápidas (40 ms), independientes del gas y precisas (0,3 % del fondo de escala). En el rango de baja presión, el sensor Pirani garantiza unas condiciones de transferencia estables y reproducibles a la cámara de proceso.

Menos complejidad, menor riesgo de contaminación
El diseño totalmente sellado con metal elimina la necesidad de un sensor de presión relativa con junta de elastómero. En su lugar, la presión diferencial se calcula a partir de la presión de la cámara y la presión ambiente, lo que garantiza la máxima estanqueidad al helio y un accionamiento fiable de la apertura de la puerta al igualarse la presión.
La compensación de temperatura individual de cada sensor garantiza una excelente estabilidad a largo plazo y una alta reproducibilidad.
El resultado: máxima estabilidad del proceso, sin concesiones.

Integración rápida, uso flexible
Con interfaces como RS485, EtherCAT y PROFINET, el VSL se integra a la perfección en los sistemas existentes. Se pueden asignar dos puntos de conmutación de relé libremente configurables a cualquier función del sensor, como la detección de la igualación de presión entre la cámara de carga y el entorno.

Una pantalla LCD retroiluminada opcional permite la lectura directa de la presión en el punto de medición.