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Aplicación del amplificador de potencia en la prueba de rendimiento de la mesa vibratoria tridimensional por ultrasonidos

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Nombre del experimento：prueba de rendimiento de la mesa de vibración ultrasónica tridimensional Dirección de la investigación：micro-nano mecanizado

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Nombre del experimento：prueba de rendimiento de la mesa de vibración ultrasónica tridimensional

Dirección de la investigación：micro-nano mecanizado

Contenido del experimento：

Sobre la base del procesamiento tradicional de nano-grabado de la sonda, el procesamiento de la vibración ultrasónica unidimensional / bidimensional puede mejorar efectivamente la eficiencia de procesamiento, y reducir el desgaste de la sonda y la acumulación de material. Este experimento tiene como objetivo probar el rendimiento de la mesa de vibración ultrasónica tridimensional diseñado para ver si cumple con los requisitos de procesamiento

Propósito del experimento：calibrar el rendimiento de la mesa de vibración

Equipo de prueba：Mesa de vibración ultrasónica tridimensional, medidor de vibración láser Doppler, tarjeta de adquisición DAQ, amplificador de potencia ATA-2082, cerámica piezoeléctrica

Proceso experimental：

La mesa de vibración ultrasónica tridimensional tiene tres grados de libertad en las direcciones xyz, cada uno de los cuales es impulsado por una placa cerámica piezoeléctrica separada. Puede proporcionar asistencia de vibración unidimensional o bidimensional en el mecanizado asistido por vibración. En el proceso experimental, el generador de señales envía la señal de control, y la señal de control es amplificada por el amplificador de potencia ATA-2082, impulsando la placa cerámica piezoeléctrica para emitir la señal de desplazamiento, y la señal es recogida por el medidor de vibración láser Doppler. Se probó la vibración unidimensional a diferentes frecuencias y voltajes en tres direcciones y la vibración bidimensional a diferentes diferencias de fase entre XY y XY.

Resultado del experimento：

Como se muestra en la figura siguiente, el desplazamiento de salida aumenta linealmente bajo diferentes tensiones de conducción. A diferentes frecuencias de conducción, la señal de desplazamiento inicial permanece sin cambios, pero a medida que la frecuencia de conducción se acerca gradualmente a la frecuencia natural de la mesa de vibración, la señal de desplazamiento comienza a aumentar. La vibración bidimensional también muestra el cambio con la diferencia de fase, y muestra diferentes formas. La tensión de accionamiento es estable durante todo el proceso, la señal de desplazamiento es consistente con la expectativa, los dos canales pueden salir al mismo tiempo, y cuando se alcanza la frecuencia ultrasónica, la tensión de salida máxima puede seguir siendo estable.