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¿Cómo funciona el vacío de cerámica porosa?
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¿Cómo funciona el vacío de cerámica porosa?
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La Cerámica Vacuum Chuck es un tipo de cuerpo uniforme sólido o de vacío producido mediante el uso de nanopolvos. Un gran número de materiales cerámicos conectados o cerrados se generan en el material a través de la sinterización a alta temperatura.
El material es Al2O3 o SIC, que se utiliza ampliamente en semiconductores y dispositivos electrónicos.
En estas aplicaciones, puede fijar obleas de semiconductores, materiales de sustrato de vidrio y otros objetos de trabajo por succión al vacío.
En comparación con las características de las ventosas tradicionales para la especificación única de piezas de trabajo, la función de succión regional de las ventosas cerámicas de vacío ayuda a mejorar la suavidad de la línea de producción y su rendimiento, además de evitar los arañazos y las marcas de succión de las ventosas tradicionales en la pieza de trabajo (especialmente en el material de película fina).
Trabajo de vacío de cerámica porosa
Además de utilizarse para adsorber piezas de trabajo, los mandriles de cerámica al vacío también pueden utilizarse en módulos de flotación de aire de tipo transmisión. Incluso se puede evitar que piezas grandes de sustratos de vidrio y otras piezas de trabajo entren en contacto directo con la plataforma durante el transporte y la transferencia, evitando.
Se producen adherencias de contaminantes, estrés, electricidad estática y daños en el sustrato de vidrio. Además, el material poroso puede reducir en gran medida el flujo de gas, y puede lograr el efecto de una presión de aire uniforme en la capa de cojín de aire y puede mantener una cierta altura de flotación.