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Piezas cerámicas de alúmina como máquinas fotolitográficas en la industria de semiconductores

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Piezas cerámicas de alúmina utilizadas en máquinas de fotolitografía

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Las piezas cerámicas de alúmina se utilizan para piezas giratorias en máquinas de fotolitografía y en estado de vacío. Esto requiere una precisión de mecanizado extremadamente alta, y se exige que la excentricidad del círculo interior no supere las 2 micras.

La cerámica fina se ha convertido en un componente clave de los equipos semiconductores. Especialmente en las máquinas de litografía de alta gama, con el fin de lograr una alta precisión de proceso, es necesario utilizar ampliamente componentes cerámicos con buen compuesto funcional, estabilidad estructural, estabilidad térmica y alta precisión dimensional.Tales como E-chuck, Vacumm-chuck, Block, esqueleto de acero magnético placa refrigerada por agua, reflector, carril de guía, etc.