Componentes de nitruro de boro para MOCVD

Piezas de cerámica de nitruro de boro

El nitruro de boro hexagonal prensado en caliente a menudo se denomina "grafito blanco", ya que tiene una estructura de capas similar a la del grafito. Tiene características térmicas sobresalientes: alta conductividad térmica y excelente resistencia al choque térmico. Es estable hasta 2000 °C en atmósferas reductoras y hasta 900 °C en atmósferas oxidantes. Tiene características tales como alta capacidad de maquinado, baja expansión térmica, transparencia de microondas y alta resistencia en húmedo a metales fundidos, escorias y vidrio. Las piezas de cerámica de nitruro de boro se utilizan ampliamente como PVD, MOCVD, sistema MBE, componentes de hornos, crisoles de fusión, aisladores, arandelas, boquillas, tubos de microondas, disipadores de calor y protección contra la radiación térmica.

Un reactor MOCVD es una cámara hecha de un material que no reacciona con los productos químicos que se utilizan. También debe soportar altas temperaturas. Esta cámara está compuesta por las paredes del reactor, un revestimiento, un susceptor, unidades de inyección de gas y unidades de control de temperatura.

En el reactor MOCVD, el sustrato está soportado por un pedestal, que también actúa como susceptor. El pedestal/susceptor es el origen principal de la energía térmica en la cámara de reacción. Solo se calienta el susceptor, por lo que los gases no reaccionan antes de llegar a la superficie de la oblea caliente. Sin embargo, las paredes de la cámara de reacción en un reactor de pared fría pueden calentarse indirectamente por el calor que irradia el pedestal/susceptor caliente, pero permanecerán más frías que el pedestal/susceptor y el sustrato que soporta el pedestal/susceptor. Por lo tanto, el nitruro de boro es una buena opción porque la densidad de potencia, la temperatura de funcionamiento, el grado de aislamiento y la rigidez dieléctrica de los elementos calefactores se pueden mejorar en gran medida mediante el uso de nitruro de boro como aislante. También es más económico y reduce la inercia térmica. La forma anular reduce el tamaño del sistema de calefacción y mejora la transferencia de calor.