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Piezas cerámicas de nitruro de aluminio/nitruro de boro compuesto BN-AlN para fuente de iones

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Piezas cerámicas de nitruro de aluminio/nitruro de boro compuesto BN-AlN para fuente de iones

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La cerámica BN-AlN se fabrica sinterizando polvo de nitruro de boro (BN) y nitruro de aluminio (AIN). Tiene un excelente aislante eléctrico, conductividad térmica, alta resistencia, resistencia al choque térmico, y una fuerte resistencia al plasma de gas halógeno, que es ofrece una amplia gama de aplicaciones, incluyendo componentes para equipos de producción de semiconductores y componentes que requieren la disipación de calor eficaz.

La fuente de iones es un dispositivo que crea iones atómicos y moleculares, que se encuentra en la cámara de vacío. El compuesto de nitruro de aluminio/nitruro de boro tiene una excelente capacidad de aislamiento eléctrico, conductividad térmica y sellado al vacío y no desprende mucho gas. Por tanto, desempeña un papel de disipador térmico y placa de transferencia térmica en las fuentes de iones.