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Ventajas de la cerámica utilizada en los implantadores de iones

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Ventajas de la cerámica utilizada en los implantadores de iones

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Como equipo avanzado de fabricación de semiconductores, los implantadores iónicos tienen unos requisitos muy exigentes en cuanto al rendimiento de los materiales.

Como componente importante, los accesorios cerámicos desempeñan un papel vital en los implantadores de iones.

A.Características básicas de los accesorios de los implantadores de iones y de los accesorios cerámicos

Los accesorios de los implantadores de iones están hechos principalmente de nitruro de silicio de alta pureza, carburo de silicio (SiC), alúmina, cerámica microporosa de alúmina/carburo de silicio, nitruro de aluminio (AIN), zafiro y otros materiales cerámicos, con las siguientes características:

1. Alta dureza y alta resistencia: Los accesorios cerámicos tienen una gran dureza y resistencia, que pueden soportar una gran carga y desgaste durante la implantación de iones.

2. Alta estabilidad térmica: Los accesorios cerámicos tienen un alto punto de fusión y pueden mantener un rendimiento estable en entornos de alta temperatura.