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Piezas de cerámica de nitruro de boro (BN) para cámaras de plasma

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Piezas de cerámica de nitruro de boro (BN) para cámaras de plasma

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El nitruro de boro suele denominarse "grafito blanco", ya que tiene una estructura de capas similar a la del grafito. Poseen excelentes propiedades de resistencia a altas temperaturas, incluida una elevada rigidez dieléctrica, conductividad térmica y excelente inercia química, que pueden resolver los retos de algunos de los campos de aplicación más exigentes.

Las cerámicas de nitruro de boro (BN) son únicas en entornos de plasma por su resistencia a la pulverización catódica y su baja propensión a generar iones secundarios, incluso en presencia de fuertes campos electromagnéticos. La resistencia a la pulverización ayuda a prolongar la vida útil de los componentes, mientras que la baja generación de iones secundarios contribuye a mantener la integridad del entorno de plasma. Por lo tanto, las cerámicas de nitruro de boro (BN) se utilizan ampliamente para confinar el arco de plasma en la cámara de sputtering al material objetivo y evitar la erosión de los componentes integrales en la cámara de proceso.