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Sustratos de nitruro de aluminio rectificados y pulidos

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Lámina cerámica de nitruro de aluminio

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INNOVACERA suministra sustratos de nitruro de aluminio (AlN) rectificados, lapeados y pulidos para circuitos de película fina, soportes para diodos láser, fotónica y metalización de precisión. La conductividad térmica que ofrecemos es de 170, 200 y 230 W/m·K, con tamaños de pieza maestra de hasta 138 × 190 mm. Para aplicaciones que requieran una superficie fina, ofrecemos pulido de precisión hasta un valor de Ra ≤ 0,05 μm, con tamaños, espesores y ranuras personalizados disponibles.

El acabado superficial del sustrato de AlN puede seleccionarse en función del proceso posterior. INNOVACERA ofrece esmerilado, lapeado fino, pulido y pulido de precisión, junto con espesores, dimensiones y características de mecanizado a medida para satisfacer los distintos requisitos de las aplicaciones.

Planitud, deformación y TTV
La planitud y el TTV se especifican en función del tamaño del sustrato, el espesor y el método de medición. Para aplicaciones de precisión, los requisitos pueden evaluarse según el plano del cliente y el área de inspección definida. Se ofrece una deformación inferior al 0,3 % en configuraciones de producción específicas.

Rugosidad de acabado
El esmerilado tiene un valor Ra de 0,3-0,6 μm. El lapeado fino, de 0,1-0,4. El pulido alcanza valores inferiores a 0,10, y el pulido de precisión, de 0,05 o menos. Un sustrato que solo tenga que disipar calor puede limitarse al esmerilado. El rectificado de un submontaje LD o de un circuito de película fina no es suficiente, ya que el paso siguiente —ya sea deposición, litografía o fijación del chip— tiene en cuenta más aspectos que la superficie. Los sustratos de AlN para el procesamiento de películas finas, DPC y metalización de precisión suelen requerir una superficie lapeada o pulida antes del procesamiento posterior por parte del cliente.

Inspección
La inspección puede incluir dimensiones, espesor, rugosidad, alabeo, planitud y calidad de los bordes. La densidad, la conductividad térmica y otras propiedades del material pueden verificarse según los requisitos del proyecto. Se facilitan informes de inspección para los programas de producción cuando sea necesario.