Iluminación dinámica en interferometría de cambio de fase

Iluminación dinámica en interferometría de cambio de fase

Este artículo describe cómo habilitar una variedad de funciones útiles para ayudar a las aplicaciones de metrología interferométrica moviendo dinámicamente el punto de la fuente durante una medición de desplazamiento de fase utilizando la tecnología de espejo de dirección.