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Iluminación dinámica en interferometría de cambio de fase

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Iluminación dinámica en interferometría de cambio de fase

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Este artículo describe cómo habilitar una variedad de funciones útiles para ayudar a las aplicaciones de metrología interferométrica moviendo dinámicamente el punto de la fuente durante una medición de desplazamiento de fase utilizando la tecnología de espejo de dirección.