{{{sourceTextContent.title}}}

Bancos de verificación para cuadros de gas: una escala de referencia con una precisión del 1 % de la lectura

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Una gama de caudalímetros de flujo laminar de presión diferencial abarca desde unos pocos SCCM hasta miles de SLPM en una misma familia.

{{{sourceTextContent.description}}}

Antes de que un panel de gas o un controlador de caudal másico se envíe a una herramienta de deposición o de grabado, se comprueba cada canal comparándolo con una referencia y se somete el conjunto a una prueba de fugas. Los integradores suelen exigir al menos un 1 % de la lectura en todo el rango de caudal, y una sola referencia no puede abarcar un intervalo de aproximadamente cinco décadas. Una escalera de medidores de caudal de presión diferencial laminar, cada uno de los cuales se utiliza únicamente cuando cumple el requisito del 1 %, cubre desde unos pocos SCCM hasta miles de SLPM en una misma familia, con una precisión de ±0,5 % de la lectura o ±0,1 % del fondo de escala y una repetibilidad de ±(0,1 % de la lectura + 0,02 % del fondo de escala). Un medidor de rango bajo mide fugas de decenas de SCCM, y un manómetro con una precisión de ±0,125 % del fondo de escala mide la prueba de caída de presión. Cuando el banco de pruebas debe establecer un caudal, un controlador de caudal se adapta al mismo espacio y a la misma interfaz.