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Deposición de capas finas: control del gas reactivo línea por línea

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El control de cada línea en la fase previa permite detectar y detener las desviaciones que un manómetro de cámara no puede detectar.

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En la deposición reactiva, el manómetro de la cámara solo mide la presión total, por lo que no puede indicar que una línea reactiva de bajo caudal se haya desviado y que la composición de la película cambie de forma imperceptible. El control de cada línea en la fase previa soluciona este problema: los controladores de caudal másico DP laminares gestionan la línea de trabajo de argón o helio y la línea reactiva de oxígeno, nitrógeno o hidrocarburos, con una repetibilidad de ±(0,1 % de la lectura + 0,02 % del fondo de escala), una respuesta de control de tan solo 30 ms y un rango de control de 10 000:1. Cada uno de ellos indica el caudal másico, el caudal volumétrico, la presión absoluta y la temperatura, y se pueden seleccionar sobre el terreno entre 98 y 130 calibraciones de gases. A presiones de proceso más elevadas, un regulador de presión situado entre la cámara y la bomba mantiene la contrapresión en el rango de bajos Torr.