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【Aplicación en la industria de semiconductores】Soluciones de perforación de agujeros por ultrasonidos para materiales duros y frágiles

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Máquina herramienta ultrasónica + broca PCD maciza

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Impulsado por el rápido desarrollo de la tecnología moderna, el mercado de los semiconductores se expande cada día que pasa. Siguiendo esta tendencia, China y otros grandes países del mundo están dando pasos importantes para impulsar la producción de semiconductores, tratando de satisfacer la creciente demanda de chips de alto valor añadido con sus propias capacidades de I+D y fabricación.

Dada su importancia en la fabricación de alta gama, las piezas de semiconductores tienen elevados requisitos de calidad superficial de la pieza y precisión nanométrica. Dado que la mayoría de los componentes de procesamiento de semiconductores están hechos de materiales duros y quebradizos, el astillado, la corta vida útil de las herramientas y la baja eficiencia son los retos comunes a los que se enfrentan la mayoría de los fabricantes.

Y aquí es exactamente donde las máquinas herramientas ultrasónicas de Conprofe, las herramientas de corte de micro-borde PCD sólido y los portaherramientas ultrasónicos de precisión entran en escena. Nuestros montones de ejemplos de aplicaciones exitosas y años de experiencia demuestran el excelente rendimiento de nuestras soluciones híbridas, especialmente en la perforación de microorificios. Los clientes se benefician de tiempos de ciclo más cortos, mayor calidad, mayor rendimiento y una producción más estable.

[Caso Compartido]

Aplicaciones de la solución de mecanizado por ultrasonidos de Conprofe:

1.Taladrado de Microagujeros en Cabeza de Ducha de Silicio Monocristalino

Palabras clave: Taladrado profundo de microagujeros

Pieza de trabajo: Cabezal de ducha de silicio monocristalino

Dimensión del agujero: D0.48x18mm (Relación profundidad-diámetro 37.5:1)

Reto:

- Incumplimiento de los requisitos de mecanizado de agujeros profundos

Solución:

Centro de grabado y fresado de precisión por ultrasonidos ULM-600 de Conprofe

+ Microtaladro PCD sólido de Conprofe

Ventajas:

✓ Astillado en entradas de agujero＜0.03mm

precisión de posición＜0,01mm

vida útil de la herramienta de hasta más de 1.000 agujeros

2.Taladrado de microagujeros en duchas de cristal de cuarzo

Palabras clave: Perforación eficiente de agujeros ciegos

Pieza de trabajo: Ducha de cristal de cuarzo de dureza HV700

Dimensiones: D280mm

Requisitos de los agujeros: Agujeros ciegos D0.5x5.0mm distribuidos uniformemente (Relación profundidad-diámetro 10:1)

Desafíos:

-Baja eficiencia de mecanizado

-Astillado del borde del agujero

Solución:

Centro de fresado de precisión por ultrasonidos Conprofe UGM-500

+ Broca PCD sólida de Conprofe

Ventajas:

✓ Mecanizado continuo de 1.200 orificios (D0,5x5mm, relación profundidad-diámetro 10:1）con

UNA broca PCD maciza

✓ Tiempo de ciclo reducido en un 72% (de 270s a 75s)

✓ Pared del orificio lisa con una reducción del astillado del 68% (de 0,13 mm a 0,13 mm)

3. Taladrado de agujeros escalonados con cabezal de carburo de silicio (SiC)

Palabras clave: Perforación de microagujeros en materiales duros y quebradizos

Pieza de trabajo: Cabeza de ducha de carburo de silicio de dureza HV1,800

Dimensiones del agujero: D0.5x6.5mm/D1x6.5mm

Desafíos:

-Alta dureza del material y problema de astillado

-Diámetro de orificio pequeño y elevada relación profundidad/diámetro

-Gran dependencia de las tecnologías de mecanizado importadas

Solución:

Centro de fresado de precisión por ultrasonidos ULM-500 de Conprofe

+ Broca PCD sólida de Conprofe

Ventajas:

✓ Mecanizado continuo y estable de 100 microagujeros

✓ Excelente calidad de la pared del agujero (chipping＜0,02mm)

4. Taladrado de orificios de duchas de silicio monocristalino

Palabras clave: Perforación consecutiva de más de 6.000 orificios en material duro y quebradizo

Pieza de trabajo: Cabezal de ducha de silicio monocristalino

Dimensiones del agujero: D0.65X15mm, relación profundidad-diámetro 23:1

Desafíos:

- Problema de astillado

- Baja precisión de mecanizado

- Corta vida útil de la herramienta

Solución:

Centro de fresado de precisión por ultrasonidos ULM-600 de Conprofe

+ Broca PCD maciza de Conprofe

Ventajas:

✓ Sin astillado en los bordes del orificio

mejora significativa de la precisión dimensional y de posición

mecanizado continuo y estable de 1.200 orificios

✓ Vida útil de la herramienta superior a 6.000+ orificios

Sin virutas en el borde del agujero

5. Taladrado de orificios de duchas de óxido de aluminio (Al₂O₃)

Palabras clave: Perforación de agujeros en material duro-frágil

Pieza de trabajo: Cabeza de ducha de óxido de aluminio de dureza HV1,400

Dimensiones: D0.5x3.2mm/D1x5.8mm

Desafío:

- Corta vida de la herramienta

Solución:

Centro de fresado de precisión por ultrasonidos ULM-400 de Conprofe

+ Broca PCD maciza Conprofe

Ventajas:

✓ Excelente calidad de la superficie de la pared del agujero y precisión dimensional

✓ Mejora de la vida útil de la herramienta en un 34

Póngase en contacto con nosotros para obtener más información sobre nuestras máquinas herramienta ultrasónicas de última generación

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