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Z3TM : nuevo módulo combinado

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El Z3TM está ampliando la cartera de módulos que sirven a las plataformas de movimiento

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Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, a lo largo de un eje rotativo, uno vertical y dos oblicuos. Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de las obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los OEM una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores.