Park Systems presenta la espectroscopia infrarroja Park NX-IR R300 para la industria de semiconductores

Park NX-IR R300, un sistema de espectroscopia infrarroja (IR) a nanoescala para aplicaciones industriales.

Park Systems, un fabricante líder de microscopía de fuerza atómica (AFM) y sistemas de nano metrología, ha presentado su producto más nuevo, el Park NX-IR R300, un sistema de espectroscopía infrarroja (IR) a nanoescala para aplicaciones industriales.

Park NX-IR R300 es una espectroscopia infrarroja y microscopía de fuerza atómica integradas en uno, para obleas semiconductoras de hasta 300 mm. Proporciona información de propiedades químicas, así como datos mecánicos y topográficos para la investigación de semiconductores, el análisis de fallas y la caracterización de defectos a una resolución nanométrica alta sin precedentes.

Park NX-IR R300 combina la espectroscopia IR más avanzada de microscopía de fuerza fotoinducida (PIFM) en la plataforma AFM Park NX20 de 300 mm líder en la industria. La espectroscopia PIFM proporciona identificación química con una resolución espacial de 10 nm. Utiliza una técnica sin contacto que ofrece un sondeo de espectroscopia sin daños, la más alta resolución y precisión en todos los escaneos. Además, Park PIFM proporciona al usuario información de espectroscopia a diferentes profundidades, lo que ofrece una visión invaluable de la composición de la muestra.

"El Park NX-IR R300 es un gran avance en nuestra cartera de soluciones de nano metrología", dijo el Dr. Sang-il Park, director ejecutivo de Park Systems. "Representa nuestra continua expansión hacia nuevas áreas de innovación para herramientas de microscopía nanométrica para ingenieros y científicos en la industria y laboratorios de investigación. Estamos seguros de que Park NX-IR R300 se convertirá en una herramienta esencial para los clientes industriales que necesitan analizar la composición química de sus materiales con el más alto nivel de precisión".

Para obtener más información sobre Park NX-IR R300, visite https://www.parksystems.com/products/industrial/infrared-spectroscopy/park-nx-ir