Park SmartLitho: un enfoque novedoso para la creación de nanopatrones mediante litografía AFM

Nuevo software de nanolitografía de Park Systems para litografía en muestras ferroeléctricas.

En esta nota de aplicación, aprenderá sobre las capacidades de #SmartLitho, un novedoso software de nanolitografía de Park Systems para litografía en muestras ferroeléctricas mediante el patrón de dominios locales de una película de PZT (titanato de plomo y circonio) en obleas de silicio. El estudio demuestra que el nanopatrón mediante nanolitografía AFM, en particular el patrón de oxidación en sustratos de silicio y Park SmartLitho, ofrece un potencial significativo para la modificación personalizada de la superficie del nanosensor, así como nanodispositivos para la investigación y la industria de semiconductores.