#Novedades de la industria
Medición de la topografía 3D (¡y de la dinámica!) de los sensores de presión MEMS
Prueba óptica de la membrana del sensor de presión MEMS y control de calidad
Algunos parámetros relevantes para el rendimiento de los sensores de presión no pueden medirse eléctricamente, por lo que la industria recurre a enfoques adicionales. Uno de estos enfoques es la medición topográfica en 3D de la fina y sensible membrana del sensor de presión, incluida la medición del grosor de la membrana. Los perfiladores ópticos de superficie de la serie TopMap de interferómetros de luz blanca revelan con precisión los parámetros de forma y la curvatura de la membrana del sensor de presión a diferentes presiones aplicadas, evitando así tensiones no deseadas y garantizando que el proceso de grabado funciona como se desea. También se pueden medir las resistencias aplicadas a la membrana del sensor de presión para confirmar y optimizar el posicionamiento y la fijación.
La frecuencia de resonancia y la amplitud de la vibración de la membrana del sensor de presión MEMS pueden detectarse con precisión mediante vibrometría Doppler láser basada en un microscopio. Para cada resonancia, la forma de deflexión operativa de la membrana puede compararse con las formas de modo predichas de una simulación de elementos finitos (FE). Al combinar los datos de medición del vibrómetro con los de la simulación de EF, la correlación permite determinar parámetros como las condiciones de contorno, el grosor, la rigidez y la tensión.
