{{{sourceTextContent.title}}}

Ver lo "invisible

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Caso de aplicación | Aplicación de la cámara industrial ultravioleta MV-SUC800GU en la detección de defectos en obleas

{{{sourceTextContent.description}}}

Durante procesos complejos como la producción de obleas, la litografía y el grabado, las obleas son muy susceptibles a los defectos causados por diversos factores. Incluso una pequeña contaminación por partículas en el entorno, ligeras desviaciones en los equipos de proceso o la falta de homogeneidad de los materiales pueden provocar graves problemas, como anomalías en la transmisión de señales, cortocircuitos o circuitos abiertos durante la fabricación y el posterior uso de los chips, con el consiguiente fallo de los mismos.

La inspección por contacto puede dañar fácilmente las obleas, y la inspección tradicional con luz visible (rango de longitud de onda de aproximadamente 400 nm a 700 nm) está limitada por las características de la longitud de onda, lo que hace cada vez más difícil cumplir los requisitos de inspección de "cero defectos".
En este contexto, la luz ultravioleta (como banda de longitud de onda principal para la litografía de semiconductores y la detección de defectos) tiene la ventaja de una longitud de onda más corta, lo que le permite resolver detalles mucho más pequeños que los visibles a simple vista. Puede captar eficazmente partículas microscópicas, arañazos y otros defectos ocultos o ultrapequeños en la superficie de las obleas, lo que la convierte en la opción ideal para la detección de defectos en la superficie de las obleas.

Características del producto
MindVision ha desarrollado de forma independiente el MV-SUC800GU, que admite disparo en longitud de onda ultravioleta (UV), bajo uso de CPU y transmisión de alta velocidad:

Vea con mayor claridad
La capa de película fina transparente de la superficie de la oblea (como el dióxido de silicio, el nitruro de silicio, etc.) permite que la luz visible la atraviese directamente, lo que la hace relativamente "transparente" y dificulta la detección de defectos. Sin embargo, esta cámara admite imágenes ultravioletas, y estos materiales se vuelven "visibles" bajo la luz ultravioleta debido a sus propiedades, revelando defectos que no pueden detectarse con cámaras de luz visible. Combinada con una resolución de 8 megapíxeles (2.840 x 2.840), proporciona imágenes de alta resolución que resuelven las limitaciones de las imágenes tradicionales con luz visible.

Ver con más precisión
En los ciclos de las líneas de producción modernas, el obturador global proporciona la base para la "detección en movimiento" sin causar "distorsión en los bordes" debido al movimiento de las obleas. Con una frecuencia de imagen de hasta 44,75 fps, evita problemas como la "omisión de cuadros de imagen" y las "zonas de disparo perdidas", mejorando así la productividad.

El sistema es más estable
Al utilizar la transmisión DMA, el componente de transmisión de datos de 5 Gbps apenas consume recursos de la CPU. Los datos sin procesar se transfieren rápidamente a la unidad de procesamiento, evitando las inspecciones perdidas causadas por la congestión de datos. Al mismo tiempo, varias cámaras pueden trabajar de forma estable en un solo equipo, sin desconectarse ni perder fotogramas incluso tras un uso prolongado, cumpliendo los requisitos de la producción continua 24 horas al día, 7 días a la semana.

Integración más sencilla
La función IO programable incorporada en la cámara y la función de fotografía con sincronización de flash de disparo externo son adecuadas para escenarios de detección automatizada, lo que mejora la coherencia de la detección de defectos. Es compatible con el protocolo Vision y perfectamente compatible con Halcon, VisionPro, LabVIEW y otro software de visión, lo que acorta el ciclo de desarrollo del proyecto.

La cámara industrial MV-SUC800GU cumple con precisión los requisitos básicos de la inspección de obleas en cuanto a "identificación de microdefectos, detección eficaz y de alta velocidad, y estabilidad y fiabilidad del sistema" gracias a su adaptación de imagen ultravioleta, alta resolución y frecuencia de imagen, obturador global, transmisión de baja latencia y gran compatibilidad.

Casos de aplicación
Bajo la luz ultravioleta, los defectos microscópicos de la superficie de la oblea formarán contrastes visibles claros y oscuros debido a las diferencias en el grado de reflexión y absorción de la luz ultravioleta.

Parámetros del producto
_________________________|________ MV-SUC800GU________|
sensor | 2/3" UV CMOS |
Tipo de cámara | blanco y negro |
tamaño de píxel: 2,74 x 2,74 pulgadas
píxeles efectivos: 8 millones
Resolución a velocidad de cuadro: 2840x2840 MAX @44.75fps
Método de exposición: Exposición por fotogramas
interfaz de datos USB 3.0
Ancho de píxel de salida 8 bits