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El robot maneja las obleas con cuidado

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Robots para salas limpias a los que se les confía una valiosa carga

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SÜSS MicroTec confía en el robot de alta precisión Stäubli TX60L Cleanroom para garantizar una manipulación ultrasegura de las obleas en el sofisticado proceso de recubrimiento.

TASK

Manipulación automatizada de obleas

Los robots que mueven componentes de A a B pueden parecer un procedimiento rutinario. Sin embargo, es una cuestión muy diferente cuando manipulan obleas de silicio en el área de la parte posterior, ya que en esta fase, un solo disco puede valer varios miles de euros. SÜSS MicroTec ha optado por el robot de alta precisión Stäubli TX60L CR (Cleanroom) para garantizar una manipulación ultrasegura de esta preciosa carga.

Aunque Asia domina el mercado de los semiconductores, el grupo SÜSS MicroTec es capaz de competir al mismo nivel en el procesamiento de obleas. Una de las empresas del grupo es SÜSS MicroTec Lithography GmbH que, como su nombre indica, está especializada en el uso de la litografía para el procesamiento de obleas en el área de back-end y ofrece una amplia gama de productos de recubrimiento y revelado.

Su completo dominio de los procesos, así como la manipulación rápida, precisa y fiable de las obleas con índices de rotura insignificantes en la gama de ppm son argumentos que han convencido a clientes de todo el mundo. Otra razón de su competitividad en el mercado asiático es la flexibilidad. El fabricante alemán de equipos especializados tiene un nivel de experiencia excepcionalmente alto en lo que respecta a la adaptación de las instalaciones a las necesidades del cliente, mientras que sus competidores asiáticos se centran principalmente en la construcción de sistemas listos para usar.

SOLUCIÓN

Sistemas innovadores de barnizado y revelado con manipulación robótica

Incluso en la configuración estándar, los sistemas están diseñados para ser altamente flexibles, como lo demuestra el grupo modular de recubrimiento y desarrollo ACS 300 Gen2. El sistema puede utilizarse sin modificaciones mecánicas para el procesamiento de obleas de 200 mm y 300 mm. Las principales áreas de aplicación son los sofisticados procesos de recubrimiento, las aplicaciones de embalaje a nivel de oblea y la integración 3D. Todas las tareas de manipulación dentro de la planta son realizadas por el robot de alta precisión para salas blancas TX60L CR de Stäubli. En el área del back-end, las especificaciones de sala limpia van de ISO 3 a ISO 4 y se cumplen fácilmente con la versión de sala limpia del TX60L.

Los sistemas SÜSS MicroTec están sometidos a exigencias muy elevadas en cuanto a fiabilidad, repetibilidad, tiempo de funcionamiento y manejo seguro, ya que en esta fase ya se ha completado aproximadamente el 90% de los pasos de producción. Por lo tanto, sería catastrófico que se rompiera una de las costosas obleas.

En comparación con los robots de tres eslabones que predominan en la industria y que sólo tienen libertad de movimiento en tres planos, el Stäubli de seis ejes es mucho más flexible. En particular, el TX60L, con su brazo largo, es capaz de llegar mucho más lejos. El mayor espacio de trabajo permite una disposición mucho más flexible de los módulos dentro del sistema. Además, el TX60L tiene una mayor precisión de colocación y una repetibilidad superior en comparación con los sistemas de tres eslabones, lo cual es un criterio decisivo en la eliminación de cordones de los bordes de las obleas.

USO POR PARTE DEL CLIENTE

Máxima precisión para una máxima fiabilidad

El robot debe ser ultrapreciso al colocar las obleas en los módulos de proceso. Con el Stäubli TX60L de alta precisión, se ha alcanzado el objetivo declarado de lograr una precisión de colocación absoluta de ± 50 micras en los módulos. Esto se debe en gran medida a la tecnología de accionamiento JCM patentada del robot Stäubli.

La gran precisión de la trayectoria del robot es también una gran ventaja a la hora de recoger e insertar las obleas. Sin el más mínimo temblor, el robot manipula las costosas obleas con una fiabilidad ejemplar. Por lo tanto, la rotura de obleas es inaudita. Los tiempos de ciclo del sistema varían considerablemente en función de la tarea. Los tiempos de los módulos son los elementos limitantes para ciertas secuencias, mientras que para otras tareas, es el tiempo de ciclo del propio robot el factor determinante. En ambos casos, la planta se beneficia de los tiempos de ciclo ultrarrápidos del robot industrial Stäubli, que trabaja con la máxima precisión a pesar de las elevadas fuerzas de aceleración, evitando con seguridad que se dañe la oblea.

El hecho de que sólo se utilicen robots de 6 ejes producidos por Stäubli en los innovadores grupos ACS300 Gen2 construidos por SÜSS no es una coincidencia. El procedimiento de selección implicó un examen minucioso de las alternativas existentes en el mercado. Pero en la búsqueda de la combinación óptima de alcance, velocidad, precisión y manejo fiable, sólo el mejor robot para esta aplicación iba a conseguir la aprobación.