Publicación el 21/8/2026
Regulador de gas de ultra alta pureza de grado semiconductor para el control de gases de proceso
Los gases de ultra alta pureza (UHP) son esenciales para la fabricación moderna de semiconductores. Gases de proceso como nitrógeno (N₂), argón (Ar), hidrógeno (H₂), oxígeno (O₂), dióxido de carbono (CO₂) y diversos gases especiales se utilizan durante toda la fabricación de obleas, incluyendo los procesos de deposición, grabado, implantación iónica, limpieza, dopaje y p...