Publicación el 12/11/2026
¿Cómo proteger los depuradores de gases de silano de los riesgos de retroceso de llama?
Introducción
El silano (SiH₄) se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores, la producción fotovoltaica, la deposición de películas delgadas, la deposición química de vapor (CVD) y otros procesos industriales avanzados. Es un gas precursor importante para la deposición de películas que contienen silicio. Sin embargo, el silano también es un gas pirofórico a...